作為電子信息制造業(yè)的重要一環(huán),電子專用設(shè)備在產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)揮著重要的基礎(chǔ)性支撐作用,是推動電子信息產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的根基,也是推動電子信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)進(jìn)步的引擎。裝備強(qiáng)則國強(qiáng),我國改革開放以來,中國電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)經(jīng)歷了從“0”到“1”的跨越,從無到有,聚沙成塔。如今,隨著中國成為全球半導(dǎo)體版圖中最具活力的土地,中國電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)也迎來了發(fā)展的黃金時期。
千錘百煉 見證產(chǎn)業(yè)成長與突破
我國電子專用設(shè)備行業(yè)在改革開放前非常弱小,尚未形成完整的產(chǎn)業(yè)鏈。國營第七○○廠(北方華創(chuàng)前身)、國營第七○八廠、國營第七○九廠、電子45所、電子48所等電子專用設(shè)備企業(yè)及研究所僅能研發(fā)和制造一些粗放型的基礎(chǔ)設(shè)備,在計劃經(jīng)濟(jì)模式下自給自足。
改革開放初期,隨著國際市場的逐步開放,以及國外先進(jìn)技術(shù)的引進(jìn),我國電子專用設(shè)備業(yè)逐漸開啟了“以市場換技術(shù)”的拓展模式,全國范圍內(nèi)采購了不少生產(chǎn)線,基本都是整線采購國外成線或二手線。而此時剛剛從計劃經(jīng)濟(jì)體制中“斷奶”的國營設(shè)備企業(yè)和研究所,沒訂單、經(jīng)驗淺,非常不受市場青睞。一時間,國內(nèi)專用設(shè)備企業(yè)備受沖擊。
20世紀(jì)八九十年代,中國電子專用設(shè)備行業(yè)遭遇冷板凳后,各設(shè)備廠商都在艱難爬坡,努力改變局面。
以國營第七○○廠為例,企業(yè)甚至先后嘗試了洗衣機(jī)、過載保護(hù)器、負(fù)離子發(fā)生器、醫(yī)療腎石機(jī)等各類設(shè)備的生產(chǎn)。之所以這樣做,一方面,在不斷尋找市場,尋找賴以生存的產(chǎn)品;另一方面,看好中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的未來,因此一直堅守設(shè)備陣地。當(dāng)時,國營第七○○廠與美國某半導(dǎo)體設(shè)備公司進(jìn)行合作,在北京設(shè)立了該公司在中國的第一家客戶服務(wù)支持中心。之后,雙方又開展合作,成立了研發(fā)先進(jìn)刻蝕機(jī)技術(shù)的合資公司。盡管后來項目被取消,但這些合作項目都為我國培養(yǎng)了一批掌握當(dāng)時先進(jìn)研發(fā)技術(shù)和服務(wù)能力的專業(yè)人才,這些人才中很多直到現(xiàn)在還一直奉獻(xiàn)和服務(wù)于國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè),而且在企業(yè)中發(fā)揮著不可替代的骨干作用。
而隨著真空開關(guān)管、彩色顯像管等設(shè)備的技術(shù)難關(guān)不斷被攻克,國產(chǎn)設(shè)備業(yè)重見曙光,并迅速實現(xiàn)了這些設(shè)備的全面國產(chǎn)化。
厚積薄發(fā) 踏上高速發(fā)展快車道
進(jìn)入新世紀(jì),伴隨著新能源光伏、LED行業(yè)的興起,中國電子專用設(shè)備行業(yè)踏上高速發(fā)展的快車道。在光伏領(lǐng)域,晶硅太陽能電池片整線生產(chǎn)設(shè)備逐步實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,國內(nèi)市場占有率超過90%,并實現(xiàn)整線出口,2018年銷售收入預(yù)計達(dá)到50億元;LED領(lǐng)域,國產(chǎn)裝備在最關(guān)鍵的MOCVD設(shè)備上取得重要進(jìn)展,刻蝕機(jī)、PVD和PECVD等產(chǎn)品不斷推陳出新,國產(chǎn)化率也達(dá)到了90%,部分產(chǎn)品憑借優(yōu)越的產(chǎn)品性能和性價比,遠(yuǎn)銷海外。
同時,中國集成電路產(chǎn)業(yè)及配套裝備產(chǎn)業(yè)在政府的日趨重視下,也進(jìn)入了快速追趕階段。一批12英寸高端集成電路制造裝備實現(xiàn)了從無到有的突破,國產(chǎn)12英寸28nm集成電路芯片關(guān)鍵設(shè)備進(jìn)入主流生產(chǎn)線實現(xiàn)量產(chǎn),14nm刻蝕機(jī)、PVD、LPCVD、單片退火、光學(xué)檢測、ALD、PECVD等設(shè)備進(jìn)入大生產(chǎn)線驗證并實現(xiàn)銷售??梢哉f,經(jīng)過40年的奮斗,國內(nèi)電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)的競爭格局發(fā)生了根本改變,國產(chǎn)設(shè)備能夠滿足很多制造領(lǐng)域的需求,并在一定程度上推動了我國光伏、LED、平板顯示、MEMS、封裝等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。
機(jī)遇難逢 共建自主開放產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈
改革開放40年來,中國電子專用設(shè)備整體技術(shù)水平已經(jīng)取得長足進(jìn)步,逐步實現(xiàn)從“替代者”到“創(chuàng)新者”的角色轉(zhuǎn)變,在全球產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新鏈中不斷尋找自己的特色發(fā)展之路,但想要在國際競爭中占有一席之位,目前還面臨著諸多難題和考驗,需要業(yè)內(nèi)人士共同努力。
首先,提高先進(jìn)技術(shù)開發(fā)能力,縮短新設(shè)備驗證周期。目前國產(chǎn)設(shè)備技術(shù)水平還處于弱勢地位,需加強(qiáng)與龍頭用戶或國際研究機(jī)構(gòu)的戰(zhàn)略合作,以加強(qiáng)下一代新技術(shù)的研發(fā),在客戶初始研發(fā)階段參與其中,才能取得市場先機(jī)。國產(chǎn)裝備從研發(fā)到定型,再到生產(chǎn)線DEMO驗證,需要經(jīng)過大量的工藝實驗,并不斷改型優(yōu)化,最后在客戶生產(chǎn)線上需要經(jīng)過近一年的DEMO驗證,設(shè)備生產(chǎn)性能全面達(dá)標(biāo)后方能形成采購意向,實現(xiàn)銷售。如此高昂的工藝試驗費(fèi)用,需要很強(qiáng)的融資能力和經(jīng)濟(jì)實力,也需要來自產(chǎn)業(yè)各界的持續(xù)支持,讓國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)能夠真正參與到最先進(jìn)生產(chǎn)線制程的工藝研發(fā)中,與國內(nèi)IDM企業(yè)開展深度合作,促進(jìn)核心工藝設(shè)備的研發(fā)和評估。與此同時,加快企業(yè)研發(fā)成果的市場化進(jìn)程,也亟須多渠道、集中資金和政策支持發(fā)展龍頭裝備商,打造綜合競爭力,重拳出擊,突破核心工藝設(shè)備瓶頸。
其次,亟須打造更健康自主的產(chǎn)業(yè)環(huán)境,營造本土產(chǎn)業(yè)“生態(tài)圈”。知名半導(dǎo)體行業(yè)專家莫大康說過:“‘引進(jìn)’猶如踩在別人肩膀上走路,容易受制于人。改革開放40年的教訓(xùn)告訴我們,先進(jìn)的技術(shù)是買不來的,先進(jìn)的設(shè)備也是買不來的,我們必須兩條腿走路,自力更生更重要?!蹦壳?,我國高端集成電路裝備整機(jī)約70%的零部件長期依賴進(jìn)口且價格居高不下,在一定程度上削弱了我國高端裝備的整體競爭力,自力更生對半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件的供應(yīng)問題來說,尤為重要。為此,建議從國家層面加大對核心零部件、關(guān)鍵原材料的布局,提升芯片制造企業(yè)對國產(chǎn)裝備、零部件的支持力度,不斷提高核心零部件的本地配套能力。
再次,加快國內(nèi)外的整合兼并。縱觀國際半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展歷程,國際龍頭企業(yè)基本都經(jīng)歷了自身發(fā)展與國際并購相結(jié)合的模式,形成大者恒大的局面,壟斷趨勢越來越明顯。中國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)要與國際巨頭競爭,必須提高自身的競爭實力,這需要加強(qiáng)各設(shè)備企業(yè)的互相協(xié)同,推動企業(yè)間的兼并整合,提升企業(yè)在對外并購中的競爭實力。
最后,加快人才培養(yǎng)速度,改善人才機(jī)制。集成電路裝備是人才密集的產(chǎn)業(yè),需要大量的高素質(zhì)研發(fā)人才,人才是產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素之一。經(jīng)過近十年的發(fā)展,我國集成電路裝備人才隊伍迅速壯大,一批高端人才加盟到國內(nèi)的研發(fā)隊伍中,形成了一支極具創(chuàng)新力的人才隊伍,擁有數(shù)千項專利,初步形成了較為完善的知識產(chǎn)權(quán)保護(hù)體系。但相比快速發(fā)展的產(chǎn)業(yè),人才的缺口依然很大,需求依然很急迫。政府要聯(lián)合高校、科研機(jī)構(gòu)加大人才培養(yǎng)規(guī)模,加快人才培養(yǎng)速度。同時企業(yè)也要改善激勵機(jī)制,以吸引更多高端人才加盟。
2018年,全球半導(dǎo)體制造設(shè)備的銷售額預(yù)計將達(dá)到621億美元,將創(chuàng)歷史新高,中國大陸排名將首次上升至第二名。全球集成電路制造業(yè)向中國大陸轉(zhuǎn)移大趨勢不可逆轉(zhuǎn),機(jī)遇千載難逢,亟須業(yè)界同仁,聚力同心,開放創(chuàng)新,產(chǎn)學(xué)研結(jié)合發(fā)展,吸引更多力量參與到電子專用設(shè)備行業(yè)中來,共建自主、開放的產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈。(中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會理事長、北方華創(chuàng)科技集團(tuán)總裁 趙晉榮)